Mc100 Dli-cvd और Dli-ald सिस्टम

हमारी फर्म हमारे संरक्षकों को MC100 DLI-CVD और DLI-ALD सिस्टम का निर्माण और आपूर्ति कर रही है। Annealsys MC100 एक 100 मिमी DLI-CVD और DLI-ALD प्रणाली है जिसे अनुसंधान और विकास अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह स्वामित्व की कम लागत वाली सामग्रियों की एक विस्तृत श्रृंखला को जमा करने की क्षमता प्रदान करता है। डायरेक्ट लिक्विड इंजेक्शन (DLI) वेपोराइज़र अग्रदूत प्रवाह का सही नियंत्रण प्रदान करते हैं और कम वाष्प दबाव और पतला रासायनिक अग्रदूतों के उपयोग की अनुमति देते हैं। बाय-पास वाल्व से जुड़े अग्रदूत वाष्प प्रवाह की तेज़ स्विचिंग ने नैनोलैमिनेट्स के जमाव के लिए सही इंटरफ़ेस नियंत्रण प्रदान किया। थर्मल रूप से नियंत्रित दीवार रिएक्टर रासायनिक अग्रदूत का कुशल उपयोग और प्रक्रिया कक्ष की दीवारों पर सीमित जमाव प्रदान करता है। रासायनिक अग्रदूतों की कम खपत के लिए स्वचालित तरल पैनल को अनुकूलित किया गया है। नो डेड वॉल्यूम डिज़ाइन रसायनों को आसानी से बदलने और ग्लोव बॉक्स में अग्रदूत टैंकों को फिर से भरने की पूरी क्षमता प्रदान करता है। हमारे ग्राहकों के लिए उत्कृष्ट तकनीकी और प्रक्रिया सहायता अनुप्रयोग: - सरल और बहु-धातु ऑक्साइड - धातु, नाइट्राइड और मिश्र धातु - नैनोट्यूब और नैनोवायर - आदि