Mc200 थर्मली कंट्रोल्ड वॉल रिएक्टर

हम अपने संरक्षकों को MC200 थर्मली कंट्रोल्ड वॉल रिएक्टर की एक विस्तृत श्रृंखला का उत्पादन और आपूर्ति कर रहे हैं। Annealsys MC200 एक 200 मिमी थर्मल नियंत्रित वॉल रिएक्टर है जिसे विशेष रूप से DLI-CVD और DLI-ALD प्रक्रियाओं के लिए अनुसंधान और विकास इकाइयों की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए विकसित किया गया है। डायरेक्ट लिक्विड इंजेक्शन (डीएलआई) वेपोराइज़र अग्रदूत प्रवाह का सही नियंत्रण प्रदान करते हैं और कम वाष्प दबाव और पतले रासायनिक अग्रदूतों के उपयोग की अनुमति देते हैं। बाय-पास वाल्व से जुड़े अग्रदूत वाष्प प्रवाह के तेज़ स्विचिंग ने नैनोलैमिनेट्स के जमाव के लिए सही इंटरफ़ेस नियंत्रण प्रदान किया। कैपेसिटेंस प्लाज्मा विकल्प जमाव तापमान को कम करने के लिए PE-CVD और PE-ALD क्षमताओं की पेशकश करता है। रासायनिक अग्रदूतों की कम खपत के लिए स्वचालित तरल पैनल को अनुकूलित किया गया है। नो डेड वॉल्यूम डिज़ाइन रसायनों के आसान परिवर्तन और ग्लव बॉक्स में अग्रदूत टैंकों को फिर से भरने के लिए पूरी बढ़ती क्षमता प्रदान करता है। लोडलॉक और ग्लोव बॉक्स सब्सट्रेट लोडिंग उपलब्ध हैं। हमारे ग्राहकों के लिए उत्कृष्ट तकनीकी और प्रक्रिया सहायता। एप्लीकेशन: - सरल और बहु-धातु ऑक्साइड - धातु, नाइट्राइड और मिश्र धातु - नैनोट्यूब और नैनोवायर - आदि।